MEMS 傳感器則是一種新型高性能傳感器，越高檔的汽車中，使用的數(shù) 量越多。、相比較傳統(tǒng)的傳感器，采用類似 IC 的集成技術(shù)，具備體積小，功 耗低，穩(wěn)定性高等特點(diǎn)。MEMS 傳感器主要應(yīng)用在車輛的防抱死系統(tǒng)（ABS）， 電子車身穩(wěn)定程序（ESP），電控懸掛（ECS），電動(dòng)手剎（EPB），胎壓監(jiān)控（EPMS）， 車輛傾角計(jì)量等方面。對(duì)車用級(jí)的 MEMS 傳感器測試要求也更為嚴(yán)苛，一則 在車輛振動(dòng)或者環(huán)境溫度發(fā)生變化的情況下，傳感器輸出的模擬信號(hào)需要 十分穩(wěn)定；其次要具備較高的抗干擾能力以及較低的功耗。
MEMS 傳感器低功耗測試解決方案
99%的車用 MEMS 傳感器主要分為 4 大類：壓力傳感器、加速計(jì)、陀螺儀 與流量傳感器?，F(xiàn)在一些廠家將加速度計(jì)和陀螺儀集成在一個(gè)傳感器模塊 中，如下圖是某國際知名 MEMS 傳感器的指標(biāo)，從指標(biāo)中可以看到不同工作 狀態(tài)下對(duì)應(yīng)的工作電流從 uA 跨度到 mA 級(jí)別。GA_Idd 是加速度計(jì)和陀螺儀 的工作電流，A_Idd 是加速度計(jì)的工作電流，而休眠模式下的電流更小。如 何實(shí)現(xiàn)無縫全程檢測電流？傳統(tǒng)的方式選用一臺(tái)電源作為 MEMS 傳感器的供 電源，再額外增加一臺(tái)高精度 DVM 表，這樣會(huì)使得設(shè)備成本增加，且接線更 復(fù)雜。并且 MEMS 傳感器的核心是傳感器芯片，芯片對(duì)于供電源的電壓電流 過沖均十分敏感，因此選擇電源時(shí)，還需要特別注意過沖的特性。
而 ITECH 的高精度可編程直流電源可以一機(jī)解決以上問題。一方面， IT-M3200 的量測精度可以到達(dá) nA 級(jí)別，符合上述的 uA 級(jí)別的電流量測需 求，替代傳統(tǒng)兩臺(tái)設(shè)備才能完成的測試。其次，IT-M3200 提供四檔量程檔 位 100uA/20mA/10A/Auto，設(shè)定到 Auto 模式下可以實(shí)現(xiàn)全程無縫電流檢測。 更重要的是 M3200 提供 foldback 和 CC/CV 優(yōu)先權(quán)設(shè)定功能，可以解決啟動(dòng) 電流過沖等問題，保護(hù) DUT。
