在韓國有一家全球知名的半導(dǎo)體芯片制造商，以其創(chuàng)新和多樣化的產(chǎn)品組合而聞名。在監(jiān)控半導(dǎo)體微環(huán)境領(lǐng)域面臨著嚴峻的挑戰(zhàn)，特別是關(guān)注小至0.3微米的顆粒物。該公司需要驗證受控空間的微環(huán)境條件, 并確保沒有這種大小的顆粒存在。這個微環(huán)境是在半導(dǎo)體加工設(shè)備中處理晶圓的空間，包括各種小型潔凈區(qū)域內(nèi)部，如設(shè)備前端模塊(EFEM), 分揀器, 儲存器, 緩沖區(qū), 腔室和傳輸模塊，但不僅限于傳統(tǒng)主潔凈車間的大環(huán)境。

半導(dǎo)體制造環(huán)境中的無塵條件

他們的目標(biāo)很明確：他們想在微環(huán)境中創(chuàng)造無顆粒物的條件。為了做到這一點，他們正在尋找一種有效的粒子監(jiān)測解決方案。

2023年，該公司的評估分析負責(zé)人向TSI尋求解決方案，以滿足他們的顆粒物監(jiān)測需求。TSI的專業(yè)技術(shù)團隊建議客戶在他們的設(shè)備運行過程中, 進行持續(xù)性監(jiān)測。

實時證明，TSI AeroTrak?+遠程粒子計數(shù)器7301配套解決方案，改變了韓國半導(dǎo)體公司的游戲規(guī)則。它使他們能夠持續(xù)監(jiān)測微型環(huán)境，并提供有價值的數(shù)據(jù)來驗證內(nèi)部條件。這個解決方案使幫助客戶實現(xiàn)了他們的目標(biāo)，確保在他們的微環(huán)境中不存在0.3微米的顆粒。

與粒子計數(shù)專業(yè)知識相互合作

這家芯片制造商選擇TSI是因為TSI能夠提供全面的專業(yè)知識和技術(shù)支持，這對于滿足客戶的特定要求至關(guān)重要。評估分析負責(zé)人說：“我們需要的合作伙伴不僅是能提供設(shè)備，還要能夠提供專業(yè)知識來解決我們面臨的特殊挑戰(zhàn)，TSI的經(jīng)驗和技術(shù)熟練程度使他們成為我們半導(dǎo)體工廠的理想選擇。”與TSI專家的伙伴關(guān)系顯然對實現(xiàn)預(yù)期結(jié)果至關(guān)重要。

在考慮備選方案時，制造商最初的目標(biāo)是在EFEM范圍內(nèi)監(jiān)測更小的顆粒，小到0.1微米。最后，他們綜合考量TSI專業(yè)團隊的建議之后，決定選擇0.2微米AeroTrak?+遠程粒子計數(shù)器作為最具性價比的備選方案，以有效滿足他們的監(jiān)測要求。

TSI粒子計數(shù)器在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用

TSI 依據(jù)幾十年對于粒子計數(shù)器的研發(fā)專業(yè)知識和各行業(yè)無塵車間的豐富經(jīng)驗，可以為半導(dǎo)體，電子和平板顯示(FPD)制造行業(yè)的各大用戶，提供各類解決方案。

TSI的產(chǎn)品線全面，在半導(dǎo)體電子行業(yè)，不僅覆蓋了在線、離線手持型、便攜型等多種功能性方案選擇，可監(jiān)控尺寸范圍更是從小至10納米、0.1微米、0.2微米、0.3微米等等各尺寸通道方案。擁有以7201、7110、 6310等產(chǎn)品為代表的軟硬件相結(jié)合的在線監(jiān)控系統(tǒng)，以9110、A100等代表的便攜式設(shè)備。通過實時的全面監(jiān)測方式，大到整個無塵車間廠房，小到每個工藝腔體內(nèi)部的微環(huán)境，幫助解決用戶在產(chǎn)品制造過程中因為微環(huán)境的各種干擾對產(chǎn)品良率影響的不確定性，幫助用戶進行溯源，降低環(huán)境因素的影響，從而讓客戶能夠全身心的投入到工藝的研發(fā)和改良當(dāng)中，為用戶節(jié)省時間成本，大大提高了用戶對于良率改進的效率。

TSI®與您約2024 SEMICON China

在即將到來的 2024 SEMICON China上， TSI®將攜多產(chǎn)線產(chǎn)品，從潔凈室環(huán)境監(jiān)測粒子計數(shù)器到潔凈空間通風(fēng)測試專業(yè)工具， 再到半導(dǎo)體行業(yè)中所使用的高效過濾器和閥門的研發(fā)以及高純氣體監(jiān)測所涉及的SMPS粒徑譜儀和粒子計數(shù)器。TSI® 以專業(yè)的納米級粒子技術(shù)助力半導(dǎo)體行業(yè)客戶迎接明天的挑戰(zhàn)！

3月20~22日

上海新國際博覽中心